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扩散炉用石英炉管的制造工艺
- 2019-01-22-

     介绍一种石英炉管的制造工艺:现有常压扩散炉进气方式为炉尾进气,通过尾气管从炉口出气,在炉 内形成气体流场,通过磷源掺杂在高温环境下对硅片表面进行扩散。随 着太阳能电池工艺的优化,现有常压扩散炉很难满足高性能电池片对技 术的发展需求。尤其是当硅片表面方块电阻增大至110Ω/□以上时,常 压扩散炉的均匀性会变得较差。现有进气方式气体流场不均匀,掺杂原 子在反应室内分布不均匀,炉尾气体浓度偏高,炉口气体浓度偏低,容 易造成炉口扩散方阻偏高,炉尾扩散方阻偏低,需要调整温度进行补偿 。

    因热场与气流分布不均也导致了扩散后硅片片内与片间的均匀性相对 较差。而且,现有扩散炉管与炉门间密合度一般,受炉门密封的影响, 炉口容易漏气,扰乱了炉内气流,容易导致炉口扩散方阻偏高或扩散方 阻均匀性较差。 为了克服现有技术中现有的石英炉管进气方式气体流场不均匀,掺 杂原子在反应室内分布不均匀,容易造成炉口扩散方阻偏高,炉尾扩散 方阻偏低,因热场与气流分布不均也导致了扩散后硅片片内与片间的均 匀性相对较差,扩散炉管与炉门间密合度一般,炉口容易漏气,扰乱了 炉内气流,容易导致炉口扩散方阻偏高或扩散方阻均匀性较差的问题, 提供一种扩散炉用石英炉管。 

    一种扩散炉用石 英炉管,包括管体,所述管体一端的炉口处设置有炉门,所述炉门与所 述炉口之间采用双层密封结构,所述炉门与管体连通的面上开设有导流 槽,所述导流槽的底面为球面,所述管体另一端的炉尾端面的中间设置 有尾气管,所述炉尾端面上圆周均布有若干进气管,所述进气管穿过所 述管体内部,在炉口处与炉门相对设置。 本实用新型在炉门与炉口之间采用双层密封结构,气体不容易从炉口处 泄露,提升了密封效果,减少了反应室内气体扰动,减少了炉口热量损 失;炉门上设置底面呈球面的导流槽,进气管穿过管体内部,在炉口处 与炉门相对设置,当气体从进气管进入管体后,气体从进气管内喷出, 直接喷向导流槽的底面,导流槽的底面为球面,喷向导流槽的气体经过 导流槽底面的反弹后充满整个管体,并向炉尾流动,最终从炉尾中间的 尾气管排出。