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石英炉管制作方法你了解吗?
- 2019-02-25 -

    石英炉管现有常压分散炉进气方法为炉尾进气,经过尾气管从炉口出气,在炉内形成气体流场,经过磷源掺杂在高温环境下对硅片外表进行分散。跟着太阳能电池工艺的优化,现有常压分散炉很难满意高性能电池片对技能的发展需求。

    尤其是当硅片外表方块电阻增大至110Ω/□以上时,常压分散炉的均匀性会变得较差。现有进气方法气体流场不均匀,掺杂原子在反响室内散布不均匀,炉尾气体浓度偏高,炉口气体浓度偏低,简单形成炉口分散方阻偏高,炉尾分散方阻偏低,需求调整温度进行补偿。

    因热场与气流散布不均也导致了分散后硅片片内与片间的均匀性相对较差。而且,现有分散炉管与炉门间密合度一般,受炉门密封的影响,炉口简单漏气,打乱了炉内气流,简单导致炉口分散方阻偏高或分散方阻均匀性较差。

    本实用新型要解决的技能问题是:为了战胜现有技能中现有的石英炉管进气方法气体流场不均匀,掺杂原子在反响室内散布不均匀,简单形成炉口分散方阻偏高,炉尾分散方阻偏低,因热场与气流散布不均也导致了分散后硅片片内与片间的均匀性相对较差,分散炉管与炉门间密合度一般,炉口简单漏气,打乱了炉内气流,简单导致炉口分散方阻偏高或分散方阻均匀性较差的问题,供给一种分散炉用石英炉管。

    以上是小编给大家讲述的石英炉管制作方法,大家可以了解看看。内容由盛邦达石英制品提供,需要咨询的可以联系我们厂家。